日期： 2007年03月02日 13:59

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國科辦提字〔2006〕204號

對政協十屆全國委員會第四次會議第1749號（輕重工業類070號）提案的答復

劉玉嶺委員：

您提出的“關于極大規模集成電路制造關鍵裝備平坦化裝備及工藝、資料發展的提案”收悉，經認真研究，現答復如下：

我國集成電路技術和裝備經過20多年的發展已取得一定成績。在集成電路裝備研究和制造方面，國內單位大部分從事前道工序裝備和后道工序裝備研制，如前道工序用擴散爐、快速熱處理裝備、清洗機、勻膠顯影裝備等；后道工序裝備中的材料制備裝備、凈化裝備、檢測裝備和試驗裝備等，部分凈化裝備和試驗裝備基本已實現國產化，部分裝備已逐步進入集成電路生產領域?！笆濉逼陂g，科技部將三種100nm核心集成電路關鍵裝備（步進掃描光刻機、高密度等離子體刻蝕機、大傾角等離子注入機）列入國家重大專項加以重點支持。目前該專項已經研制出100nm8吋高密度等離子體刻蝕機和大傾角等離子注入機生產樣機，并進入大生產線進行產品考核。該成果使我國集成電路制造裝備有望實現重大技術跨越。實現我國高端集成電路核心設備零的突破，技術水平跨越了5代，與世界先進水平差距縮小到約2代。更重要的是，這兩種設備的技術水平基本與我國集成電路制造業主流技術裝備更新同步，使未來2－3年我國集成電路制造業從180nm向130nm和90nm升級時，有可能使用國產裝備。這對我國集成電路制造業在裝備上擺脫受制于人的局面，提高自主創新能力和核心競爭力具有重要的戰略意義。同時重大專項以產業化為目標，培養了相應的骨干企業，極大地促進和帶動了我國集成電路裝備產業的建立和發展。

但是，我國的集成電路裝備制造業在生產規模、研發水平、投資強度以及人才聚集等方面與發達國家相比還在較大的差距，尚未形成支撐自身發展的產業規模。面對強勁的市場和產業發展需求，開發關鍵制造裝備和具有自主知識產權的先進工藝，形成具有自主發展能力和核心競爭力的產業鏈，實現集成電路裝備制造業的可持續健康發展，已成為我國亟待解決的一項具有全局性和戰略性意義的核心問題。

我們清醒地認識到，目前我國集成電路裝備制造技術主要還是通過各種途徑引進技術、消化吸收，跟蹤國際上產業的發展。國際集成電路裝備業已從原有“裝備開發配套工藝”演變到“裝備是工藝的物化”理念階段，銷售的裝備產品已從裝備本身演變為“物化”在裝備中的工藝和技術服務。要使我國在未來國際集成電路裝備產業鏈中占有一席之地，應從集成電路制造技術長遠發展的角度尋求更高層次的技術創新。要從集成電路制造的創新加工技術出發，將創新工藝“物化”在制造裝備上，才有可能實現真正意義上的自主創新。我國集成電路裝備產業和技術要達到這一“境界”，還需要很長的歷程，需要長期的研究與積累，因此，加強技術、工藝、裝備的戰略性研究對未來我國集成電路裝備的發展具有十分深遠的意義。

在近期頒布的《國家中長期科學和技術發展規劃綱要》中，“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”已經被列為重大專項?！笆晃濉逼陂g，我們將本著“集中攻關、重點突破”的原則，堅持以企業為主體，以產業化為目標，結合集成電路生產企業的工藝要求做好集成電路裝備發展的整體和頂層設計，使生產工藝物化在集成電路裝備中，提高我國集成電路裝備的可靠性、實用性和一致性，注重維修、備件供應等售后服務環節的完善，以推動其商品化進程，力爭某些關鍵裝備產品趕上世界集成電路技術更新換代的步伐，為我國集成電路裝備制造業的發展奠定良好基礎。我們將在專項的實施方案的編制過程中進一步認真聽取各方意見，科學合理地制定專項規劃。

感謝您對我國科技工作的關心和支持。

科學技術部

二ｏｏ六年九月三十日