暑假里，上海大學微電子學院的十余位研究生格外忙碌，他們每周5天在上海微技術工業研究院的“超越摩爾”8英寸中試線實習，學習集成電路制造工藝、在導師指導下參與創新項目。

今年6月，上海微技術工研院宣布將8英寸線每年四分之一的總機時資助給上海大學，用于微電子學院教學實踐，為期5年?！?英寸線一年的運營費近1億元，工研院相當于每年投入價值2000多萬元的機時，用于微電子學院本科生和研究生的培養?！鄙虾Ｎ⒓夹g工研院首席技術官、上海大學微電子學院院長古元冬博士說。

古元冬帶教的博士研究生楊繼業感慨道：“我碩士是在德累斯頓工業大學讀的，德國大學非常重視產教融合，但我們學院的產教融合程度超過了德國大學?！?/p>

為補芯片制造短板培養人才

上海大學微電子學院成立于2019年11月，由上海大學和上海微技術工研院共同發起，與中國科學院上海分院、嘉定區政府、集成電路創新型企業共建，面向集成電路產業?！霸谑形姓闹С窒?，我們正在全力打造準工業化、國際化的一流微電子學院?！鄙虾４髮W微電子學院執行院長張建華教授說，“學院工作有三個抓手：一是與產業界合作，實現產教融合；二是與中科院合作，實現科教融合；三是與國際一流的研究機構合作?！?/p>

作為學院發起和共建單位，上海微技術工研院是一個連接科技界與產業界的平臺。這家新型研發機構由中科院上海微系統與信息技術研究所創辦，致力于“超越摩爾”技術和物聯網應用的創新和產業化。所謂“超越摩爾”，是指以成熟半導體技術為基礎的非數字、多元化技術，其性能不遵循“摩爾定律”的工藝升級路線，覆蓋mems傳感器、光電子、高性能模擬及射頻芯片等廣闊的應用領域。2017年9月，工研院的“超越摩爾”8英寸研發中試線投入運營，成為國內首條、國際領先的微機電系統（mems）中試線。

工研院“超越摩爾”8英寸研發中試線

“芯片制造是中國大陸集成電路產業的一塊短板，我們學院要通過產教融合，培養一大批來之能戰的制造工藝人才?！惫旁硎?，工藝經驗的巨大商業價值，決定了工藝專家積累的經驗往往是不會通過論文廣而告之的。這就要求高校在高端工藝人才的培養模式和考核標準上不能“唯論文”，而是要以產業需求為導向，落實國務院《關于完善科技成果評價機制的指導意見》，對新技術、新材料、新工藝、新產品等科技成果以用戶評價、市場檢驗和第三方評價為主。

碩士生獲兩年一線實戰經驗

如今，十余位上大研究生在8英寸線學習、研發制造工藝。碩士研究生季宇成告訴記者：“我們組5個同學相當于上班了，每天朝九晚五，穿著無塵服在潔凈室里實習。這里每天都有客戶送來的片子，需要做定制化工藝研發。師傅研發工藝時會抽出時間給我們講解，這些實用知識在教室里是很難學到的?！?/p>

季宇成所說的師傅，是工研院的工藝工程師團隊。他們都毫無保留地把工藝技能傳授給研究生，讓他們能早日上手，具備自主研發的能力。

研發人員在8英寸線的機臺前操作設備。

通過暑假不間斷的學習，小季已對8英寸線的黃光區、薄膜區、刻蝕區、擴散區等四大區域有了一定了解。他跟著師傅學習每個區域的設備、工藝流程及其原理。作為研究生導師，8英寸線副總經理王詩男博士要求小季等同學每天晚上寫學習日志。無論工作多么忙，王詩男都會看這些日志并給出指導意見。

完成各個區域的初步學習后，研究生要選擇一個領域進行深入研究。季宇成選擇了位于黃光區的晶圓級鍵合工藝研究。這種工藝是芯片加工流程中的關鍵步驟，通過加熱、加電壓、加壓力讓兩片晶圓結合在一起?！拔覀儠谶@里待到畢業，這樣不僅完成了碩士學業，還相當于有了兩年的一線實戰經驗，”季宇成笑著說，“這對找工作是非常有利的?！?/p>

舍得投入助博士生取得突破

博士研究生楊繼業已在8英寸線工作一年，負責制備氮化鋁薄膜。將這種材料沉積到晶圓上后，可制造聲學傳感器、5g射頻芯片等器件。

制備出高性能的氮化鋁薄膜，是導師古元冬交給小楊的任務。經過一年摸索，他取得了突破?！肮ぱ性旱膫鞲衅髟O計專家告訴我，沉積氮化鋁薄膜和電極的晶圓質量很高，做出來的聲學傳感器性能很好?！睏罾^業的話語中，透著自豪。

古元冬（右二）在8英寸線給研究生講解氮化鋁制備工藝。

取得技術突破的原因是什么？他做了一番對比：“我在德國讀碩士3年間，導師總共給我8片晶圓來研究工藝，但工研院一次性就給我25片晶圓。為了研發高質量氮化鋁薄膜的生長工藝，我已用掉200多片晶圓，終于找到了比較好的工藝窗口?！睋榻B，一片晶圓的成本是500—600元，工研院為了支持研究生參與創新項目，十分舍得投入，也因此收獲了創新成果。

作為在德國留學10年的海歸，楊繼業也為上大微電子專業的產教融合點贊?！斑M入8英寸線后，我發現這里的工藝都是向研究生開放的。導師和工程師都很耐心地指導我們，讓我們很快成長起來?！?/p>

德國高校微電子專業的產教融合也很有特色，小楊曾就讀的德累斯頓工業大學微電子專業要求，研究生畢業前，必須在弗勞恩霍夫電子射線與等離子研究所學習一年，師從企業導師從事研發工作。弗勞恩霍夫研究所的企業導師還會來德累斯頓工業大學上課，讓學生了解產業界的技術發展。

“不過，我在德國很難接觸到集成電路的先進工藝，拿到碩士學位后就選擇了回國?！睏罾^業說，“沒想到在上大讀博士，可以與產業界聯系得這么緊密?！敝苽涑鰡螌拥X薄膜后，他打算研發雙層氮化鋁材料和5g射頻芯片，為產業界提供高質量的集成電路材料和器件。（記者 俞陶然）